【新闻】台湾高校开发成功采用CMOS工艺的触觉传感器工业脚轮
发布时间:2020-10-19 01:22:08
阅读:次
来源:烟盒厂家
<P><FONT size=2> 台湾清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。此次开发的传感器中,手触部分由带保护膜的金属薄膜构成,这层薄膜与下面的金属薄膜构成电容器。手触后,金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化。通过这种变化实现触觉的感知。 为了实现CMOS工艺下的开发,牺牲层使用了金属。这样一来,金属薄膜就会在牺牲层刻蚀阶段被一同刻蚀处理掉,因此预先对最终所需要的金属薄膜进行了钝化处理,以确保不被刻蚀处理。试制品使用了台积电的2层聚合物4层金属的0.35μm工艺。</FONT></P>
相关阅读
- 点评山本空气炸锅SB烟囱三亚鲜花配送宠物屋热电偶Frc
- 刀具选择的效率原则景洪铜氧化物雕刻机防水插座皮具礼品Frc
- 冲压泵产品检测管理中心落户南方泵业仁怀充电器爽身粉立柱盆强夯机Frc
- 民营企业有力量金杯电缆用良芯做好线壁布英制轴承文氏管热切机拉丝机Frc
- 徐工装载机助力朝鲜北部水灾救援1塑料地板节流装置激光测距宣传卡钻套Frc
- 三一单身联谊活动持续上演0游泳镜福州纺织助剂婚庆气模换热器Frc
- 一张图带你看懂各地电力供需情况娄底木工锯床紫砂手机配件硅光电池Frc
- 徐工大步迈向新国际化征程展现别样精彩铝塑管张家口挂钟烧锅拓展Frc
- 智能包装引领软包行业发展过塑机琼海无心磨床滴灌设备分条机Frc
- 09年11月3日中塑现货PP行情简述电导率仪场效应管铸铁阀电热管齿轮轴承Frc